ABRT-400空气轴承精密直驱转台 | ABRT-400 Air-Bearing Direct-Drive Rotary Stage | ABRT-400精密气浮直驱转台
ABRT-400 是 Aerotech 的 μARC 角度和旋转装置校准系统的核心。ABRT-400 是一个大的具备纳米级误差运动性能的旋转空气轴承主轴。这种高精度空气轴承主轴是用钢紧密配合μARC周围的花岗岩结构的CTE建造的。空气轴承配备有不影响旋转的接头和滑环以通过真空或空气，并且实现电气连接到被测装置。
ABRT-400 可以用作高精度测量设备的标准角度标定，X射线衍射，蛋白质晶体或高精度加工应用。
Rotary Air-Bearing Stage Comparison
| Model | ABRT-260 | ABRT-400 | μARC |
|---|---|---|---|
| Accuracy | 4 arc sec |
2 arc sec |
0.12 arc sec |
| Repeatability | <1 arc sec |
<1 arc sec |
0.08 arc sec |
|
Axial Error Motion (Synchronous) |
<100 nm |
<100 nm |
<50 nm |
| Radial Error Motion (Synchronous) | <150 nm |
<250 nm |
<75 nm |
| Tilt Error Motion (Synchronous) | <0.5 arc sec |
<0.5 arc sec |
<0.1 arc sec |
| Axial Error Motion (Asynchronous) | <20 nm |
<20 nm |
<10 nm |
| Radial Error Motion (Asynchronous) | <20 nm |
<20 nm |
<10 nm |
| Tilt Error Motion (Asynchronous) | 0.04 arc sec |
0.04 arc sec |
0.01 arc sec |
| Load Capacity Axial | 69 kg | 110 kg | 200 kg |
| Load Capacity Radial | 10 kg | 90 kg | 50 kg |
| Slip Ring | Optional | Optional | Optional |