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直驱技术在半导体设备的成功案例

以5G、人工智能、工业互联网、物联网为代表的“新基建”正火如荼地开展，而以半导体芯片和平板显示器等高科技产品的研发和生产则是支撑其蓬勃发展的重要基石。Hero behind Hero，作为英雄背后的英雄，无论是在刻蚀、PVD、晶圆清洗、晶圆搬运、贴片等半导体生成制造工艺中，您也总能找到科尔摩根的身影。

凭借独特的高性能直驱运动控制技术，科尔摩根成为众多半导体生产和检测设备龙头企业的选择。下面，就让我们通过几个应用案例来揭秘科尔摩根卓越的半导体设备直驱运动控制解决方案能为客户带来什么价值吧！

半导体设备解决方案核心优势：
● 独特的高性能控制器方案――高精度龙门控制算法及多轴高速同步控制
● 业界领先的直驱技术――直驱电机实现高速、高精度定位
● 直接驱动实现精密轨迹控制――简化设备结构，并提高设备性能
● 产品技术方案稳定可靠――拥有全球成熟的行业经验及本地专业技术能力

CMP化学机械研磨机

针对该研磨设备所面临的性能瓶颈，科尔摩根为其提供了驱动转台和研磨头的16轴系统方案，方案集成了科尔摩根的明星产品直驱电机DDR和高性能标准伺服电机AKM。电机优化的电磁设计有效降低了齿槽效应，减少了速度波动。同时，紧凑的电机尺寸节省了更多安装空间。而且，热替换功能允许在不关闭网络的情况下替换节点，进一步减少了停机时间。 最终，方案帮助用户实现了用于300mm以及65nm晶圆加工的研磨设备技术要求，实现了多轴数紧密协同控制，且运动控制可按照要求定制轨迹，帮助设备获得了高可靠性和安全性，以及确保零停机时间。

晶圆搬运机器人

面对客户现有设备的诸多实际应用痛点，如电机安装在真空环境中的发热控制，电机的真空度适应能力提升，中心力矩电机控制需适应机器人不同位置和负载重量带来的负载惯量动态变化，以及实现运动模块之间的协同运动极为平稳可靠等要求，科尔摩根技术专家为其推荐了高性能的KBM无框直驱电机匹配AKD伺服驱动器的解决方案。定制化的KBM无框直驱电机方案，节省了设备约40%的安装空间。同时，控制器提供反向运动学算法及抑振算法，保障了晶圆搬运机器人的高速平稳运行，且实时轨迹修改实现了平稳轨迹运动。另外，双二阶滤波器，电机斜槽设计等手段最大程度减少了转矩纹波，全方位提高了设备的竞争力。


凭借超过70多年的运动控制经验，全球化的设计方案，灵活的定制能力，以及本土化的快速供货，科尔摩根在半导体行业的众多机型，比如晶圆激光检测机、光阻涂布机、晶圆分选机、覆晶贴片机、X光检测系统、MENS惯性传感器测试机以及SMT 高速贴片机等设备类型上都有着成熟的应用经验。科尔摩根直驱技术是您改善设备性能、提高设备竞争力的不二选择。