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陶瓷电机驱动纳米定位平台

从2001年开始ALIO Industries 伴随着“a better way”的理念去应对21世纪纳米和微米级精度的机器人技术的需求。这个最初的想法已经演变成一个常规产品线,包括:六脚机器人系统、空气轴承系统和机械轴承的直线和旋转的纳米级精度系统,这些产品可应用于大气、洁净室和超高真空室环境。


ALIO是一个纳米技术运动系统领域的创新者。ALIO的设计已经超越了当前自动化技术领域标准的精密产品设计。持有6轴并联脚架机器人和3轴并联脚架机器人两项特殊设计,ALIO已经建立了nano 精度产品的设计平台。


ALIO的直线和旋转平台产品线设计成本效能合算并且很好的补充了高分辨率、极高精度运动的市场需求。这些成功的应用可以用于普通大气环境、洁净室和真空室环境。ALIO的转台设计能够用于单独的运动或堆叠的各种连续运动的运动学结构。


ALIO已经开发了一系列用于极高精度应用的标准的和客户订制的高分辨率空气轴承平台。根据应用需求这些订制的坚固耐用的平台与我们高刚性的和速度从1 微米/秒到超过1 米/秒的标准产品一样可以提供5纳米分辨率的性能。这些空气轴承平台非常适合那些先进的FPD和半导体的度量衡、加工和维修所需要的平滑而精密的运动。

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